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手動/自動批量晶圓轉移：
AWT/MWT（自動/手動晶圓傳送）機器在卡塞之間水平傳送晶圓。
安全聯鎖裝置（AWT）
卡塞放置傳感器
晶圓傳輸過程中異常電阻的電機過電流檢測
當聯鎖激活時，晶片傳輸將停止
MWT有一個自返回的傳送臂，因此機器隨時可以使用。
反向卡塞裝載時可以批量翻轉
手動/自動批量晶圓轉移：
Model | Wafer Size | Description |
AWT* | 150/ 200 mm | Auto Wafer Transfer |
MWT* | 75 to 200 mm | Manual Wafer Transfer |
科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化，為廣大中國用戶提供儀器、設備，周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國，納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域，都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。
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