六角形分揀機/EFEM 150/200mm自動化平臺：

高通量開放式卡塞晶圓分選機

雙晶圓搬運機器人

雙對齊器

2-6個帶映射的加載端口

晶圓翻轉

高吞吐量200mm SMIF分揀機

雙晶圓搬運機器人

雙對齊器

2個帶映射的SMIF加載端口

迷你環境

設備前端模塊

1-6個加載端口（開放式卡塞或SMIF）

雙對齊器

晶圓裝載窗口

六角形分揀機/EFEM 150/200mm自動化平臺：SECS/GEM和GEM300通信

科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化，為廣大中國用戶提供儀器、設備，周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國，納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域，都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現?？祁ＴO備有限公司有幸成長在這個火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。