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PL SERIES納米壓印

簡要描述：PL SERIES納米壓印，提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器，同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。

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廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-12-04
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光刻機，勻膠機

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PL SERIES納米壓印：

Midas推出了一種臺式、獨立的納米壓印平臺：PL系列PL 200/400/600。該平臺提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器，同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。

PL SERIES納米壓印：

•基板尺寸 PL 200:2英寸，PL 400:4英寸，PL 600:6英寸（尺寸較小，形狀不規(guī)則）

•壓印面積與晶圓尺寸相同

•模板尺寸 PL 200:2，1英寸，PL 400:4，3，1英寸，PL 600:6，4，2，1英寸

•壓印壓力1 psi標(biāo)準(zhǔn)

•包括模具/基板自動釋放-無需特殊工具

•95%強度水平下的紫外線照射時間2~3分鐘

•對準(zhǔn)能力X、Y、Z和θ（精度2μm）

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